OLYMPUS是專門設計的顯微鏡，可使操作人員以正確的人體工程學姿勢進行操作，有利于操作人員在長時間的工作中順利進行檢測，保證了工作的效率和產品一體化。
強大的缺陷檢查能力
OLYMPUS采用了新穎的光學系統（UIS2），特別增強了明視場、暗視場的性能，從而提高了辨別和確認缺陷的能力。明視場圖像的色溫*佳化，實現了容易誤檢的中性顏色的再現，暗視場圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產品比較）。
觀察影像實例明視場觀察新暗視場觀察傳統的暗視場觀察
提供擴展性的解決方案適應分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模塊"顯微鏡控制軟件"作為核心對系統全體進行控制。這個應用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡，還能控制數碼照相機、電動載物臺等外圍設備。軟件進一步拓展了擴張性，滿足了不斷變化的分析需求。
實現對人和環境都沒有危害的自動化
符合SEMI S2/S8標準
符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關**的基準），S8-0705（有關人體工程學的基準）和CE標識（歐洲強制性認證）等的國際標準。符合人體工程學和**對策等，高水準的確保了可靠性。
可選的傾斜觀察筒傾斜觀察筒示意圖備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒。可以根據用途選擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的型號，或是目視和拍攝影像可同時觀察的型號。
潔凈對應的電動物鏡轉換器潔凈對應的電動物鏡轉換器備有兩種堅固耐用的潔凈型電動物鏡轉換器。6孔和5孔中心補正型號的明暗視場電動物鏡轉換器，采用了新型馬達，實現了高速安靜的倍率轉換。
高抗振本體高倍率觀察圖像示意圖采用了不易受振動影響的高度剛性儀器機架。即便是高倍率觀察，也不會出現影像模糊的情況。
可以觸摸屏操作的手控開關手控開關操作部配備了觸摸屏操作的手控開關，可以在檢查時執行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的*合適的觀察影像。自動對焦的追蹤、單次拍攝的切換、對焦的細微調節、DIC延遲調節、亮度調節和交換樣本時的載物臺退出均可以執行。
幫助實現多種觀察的附件
晶圓搬送機組合晶圓搬送機可以對應直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實現了對90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。
自動載物臺組合自動載物臺
